Proceedings from the Joint International Plasma Symposium of the 6th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology (6th APCPST),the 15th Symposium on Plasma Science for Materials (15th SPSM)& the 11th Korea Accelerator & Plasma Research Association annual conference (11th KAPRA) Jeju Island, Korea, 1 - 4 July 2002

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	Joint International Plasma Symposium (VerfasserIn), Korea Accelerator and Plasma Research Association (BerichterstatterIn), Symposium on Plasma Science for Materials (BerichterstatterIn), Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Sakuta, Tadahiro (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Amsterdam u.a. Elsevier 2003
Schriftenreihe:	Thin solid films 435
Schlagworte:	Konferenzschrift
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