Surface science for micro- and nano-device fabrication [... contains a selection of papers presented at the 3rd International Symposium on Surface Science for Micro- and Nano-Device Fabrication (ISSS-3) held at Waseda University, Tokyo, Japan, from November 29 to December 1, 1999]

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	International Symposium on Surface Science for Micro- and Nano-Device Fabrication (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Asahi, Hajime (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Tokyo Japan Society of Applied Physics 2000
Schriftenreihe:	Japanese journal of applied physics Regular papers, brief communications & review papers 39,7B : Special issue
Schlagworte:	Konferenzschrift
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