Surface science for micro- and nano-device fabrication [... contains a selection of papers presented at the 3rd International Symposium on Surface Science for Micro- and Nano-Device Fabrication (ISSS-3) held at Waseda University, Tokyo, Japan, from November 29 to December 1, 1999]
Gespeichert in:
| Körperschaft: | |
|---|---|
| Weitere Verfasser: | |
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | eng |
| Veröffentlicht: |
Tokyo
Japan Society of Applied Physics
2000
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| Schriftenreihe: | Japanese journal of applied physics Regular papers, brief communications & review papers
39,7B : Special issue |
| Schlagworte: | |
| Tags: |
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