Einfluß der Herstellungsbedingungen auf die Schichteigenschaften beim Hochleistungskathodenzerstäuben kubisch raumzentrierter Chromschichten

Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1999

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Scheuerer, Stefan Matthias (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 1999
Schlagworte:
Hochschulschrift > Titanlegierung > Chrom > Chromnitrid > Dünne Schicht > Stoffeigenschaft > PVD-Verfahren
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