Proceedings of the Eighth Symposium on Plasma Processing

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	Electrochemical Society Dielectric Science and Technology Division (BerichterstatterIn), Electrochemical Society Electronics Division (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Mathad, G. S. (BerichterstatterIn), Hess, Dennis W. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Pennington, NJ Electrochemical Soc. c1990
Schriftenreihe:	Proceedings volume / Electrochemical Society 90-14
Schlagworte:
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:	Dielectric Science and Technology and Electronics divisions Includes bibliographical references and indexes
Beschreibung:	xi, 787 p ill 23 cm