Thin films: stresses and mechanical properties 7 Symposium held December 1 - 5, 1997, Boston, Massachusetts, USA / eds.: Robert C. Cammarata...

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Symposium Thin Films: Stresses and Mechanical Properties (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Cammarata, Robert C. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Pittsburgh, Pa. Materials Research Society 1998
Schriftenreihe:	Materials Research Society symposia proceedings 505
Schlagworte:	Konferenzschrift > Dünne Schicht > Mechanische Eigenschaft
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