Beam injection assessment of defects in semiconductors : proceedings of the 5th International Workshop on Beam Injection Assessment of Defects in Semiconductors (BIADS 98), held in Parkhotel Schloss Wulkow near Berlin, Germany, August 30 - September 3, 1998

Beam injection assessment of defects in semiconductors proceedings of the 5th International Workshop on Beam Injection Assessment of Defects in Semiconductors (BIADS 98), held in Parkhotel Schloss Wulkow near Berlin, Germany, August 30 - September 3, 1998

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: BIADS (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Kittler, Martin (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Uetikon-Zuerich Scitec Publ. 1998
Schriftenreihe:Diffusion and defect data B, Solid state phenomena 63/64
Schlagworte:
Konferenzschrift > Halbleiter > Gitterbaufehler
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