Herstellung von Si-Bauelementen durch UHV-Epitaxie
Gespeichert in:
| Weitere Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Eggenstein-Leopoldshafen
Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik GmbH Karlsruhe
1980
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| Schriftenreihe: | Forschungsbericht / Bundesministerium für Forschung und Technologie Technologische Forschung und Entwicklung Elektronik
T 80-102 |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
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