Miniaturisiertes Spektrometersystem in LIGA-Technik

Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. C. Müller, 1994

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Müller, Claas (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Mohr, Jürgen (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Karlsruhe Forschungszentrum Karlsruhe GmbH 1995
Schriftenreihe:	Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum Karlsruhe in der Helmholtz-Gemeinschaft, FZKA 5609
Schlagworte:	Forschungsbericht > Hochschulschrift > Spektrometer > Mikrosystemtechnik > LIGA-Verfahren
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. C. Müller, 1994
Beschreibung:	Zsfassung in engl. Sprache u. d. T.: Miniaturised spectrometer system in LIGA technique
Beschreibung:	II, 84 S.