Miniaturisiertes Spektrometersystem in LIGA-Technik

Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. C. Müller, 1994

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Müller, Claas (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Mohr, Jürgen (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Karlsruhe Forschungszentrum Karlsruhe GmbH 1995
Schriftenreihe:Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum Karlsruhe in der Helmholtz-Gemeinschaft, FZKA 5609
Schlagworte:
Forschungsbericht > Hochschulschrift > Spektrometer > Mikrosystemtechnik > LIGA-Verfahren
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