Vakuumbeschichtung 4 Anwendungen : Teil 1. Vergleich der verwendeten Verfahren - elektrische Widerstandsschichten - supraleitende Schichten - dünne Schichten für Optik, Mikroelektronik, Optoelektronik, Mikromechanik - Solarzellen / Uwe Behringer ...
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1993
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | XI, 383 S. Ill., graph. Darst. |
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| ISBN: | 3184013146 3-18-401314-6 3540622748 3-540-62274-8 |