Ein Ionenstrahl-Proximity-Printer für die Halbleitertechnologie

Tübingen, Univ., Diss., 1981

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Behringer, Uwe (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1981
Schlagworte:	Hochschulschrift
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Tübingen, Univ., Diss., 1981
Beschreibung:	95 S. Ill., graph. Darst.