Ion Implantation in semiconductors silicon and germanium

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Mayer, James W. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Eriksson, Lennart (VerfasserIn), Davies, John A. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	New York Academic Press 1970
Schlagworte:	Halbleiter > Ionenimplantation
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