Ion Implantation in semiconductors silicon and germanium

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Mayer, James W. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Eriksson, Lennart (VerfasserIn), Davies, John A. (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: New York Academic Press 1970
Schlagworte:
Halbleiter > Ionenimplantation
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Beschreibung
Beschreibung:XIII, 280 S.
Ill., graph. Darst.