MEMS piezoresistive force sensors based on micro-/ nanostructured silicon components

Dissertation, Technische Universität Carolo-Wilhelmina zu Braunschweig, 2018

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Hamdana, Gerry (VerfasserIn)
Körperschaften:	Technische Universität Braunschweig (Grad-verleihende Institution), Verlag Dr. Hut (Verlag)
Weitere Verfasser:	Peiner, Erwin (AkademischeR BetreuerIn), Kowalsky, Wolfgang (AkademischeR BetreuerIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	München Verlag Dr. Hut 2019
Ausgabe:	1. Auflage
Schlagworte:	Hochschulschrift > MEMS > Kraftsensor
Online Zugang:	Inhaltstext http://www.dr.hut-verlag.de/978-3-8439-3885-3.html Inhaltsverzeichnis
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