Intergration eines Sensors mit Front-End Verstärker für ein hochkomplexes, modular aufgebautes Mikrosystem zur Differenzdruckmessung (INSENS) zum Verbundprojekt: Modulares, hochintegriertes Mikrosystem für intelligente, emissionsreduzierende Filtereinheiten (InFil) Abschlussbericht der Technischen Universität Chemnitz
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Chemnitz
Technische Universität Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik, Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik
23.08.2018
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