"Entwicklung und Herstellung von Resists auf der Basis von strukturoptimierten Polyphthalaldehyden für erweiterte Lithographie-Anwendungen" Schlussbericht zum Vorhaben : im Rahmen des Eurostars Projekts E! 9045 - PPA-Litho "Kommerziell verfügbare Resistmaterialien auf Basis von Polyphtalaldehyden für erweiterte Lithographie-Anwendungen"
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Strausberg
Allresist GmbH
2017
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