Investigation of industrially-suited processes for deposition of oxide thin films by high power impulse magnetron sputtering

Dissertation, Technische Universität Carolo-Wilhelmina zu Braunschweig, 2017

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Campos Carreri, Felipe de (VerfasserIn)
Körperschaften:	Technische Universität Braunschweig (Grad-verleihende Institution), Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik (HerausgeberIn), Fraunhofer IRB-Verlag (Verlag)
Weitere Verfasser:	Bräuer, Günter (AkademischeR BetreuerIn), Klages, Claus-Peter (AkademischeR BetreuerIn), Awakowicz, Peter (AkademischeR BetreuerIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Stuttgart Fraunhofer Verlag 2017
Schriftenreihe:	Berichte aus Forschung und Entwicklung / Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik, IST Nr. 043
Schlagworte:	Hochschulschrift > Hochleistungsimpulsmagnetronsputtern > Dünne Schicht > Oxidschicht > Isolierschicht > Aluminiumoxide > Transparent-leitendes Oxid > Indiumoxide > Zinnoxide > Zinkoxid > Prozessführung
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Dissertation, Technische Universität Carolo-Wilhelmina zu Braunschweig, 2017
Beschreibung:	XV, 196 Seiten Illustrationen, Diagramme 21 cm x 14.8 cm
ISBN:	383961287X 3-8396-1287-X 9783839612873 978-3-8396-1287-3