Projektbericht 03IPT607D: TP4 intelligent fluids - innovatives Reinigungsmedium in der Produktionskette neuartiger Waferingtechnologien Berichtszeitraum: 01.12.2013 bis 30.11.2016

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: bubbles & beyond GmbH (Herausgebendes Organ)
Weitere Verfasser: Schumann, Dirk (MitwirkendeR)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Leipzig bubbles & beyond GmbH März 2017
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 03IPT607D. - Verbund-Nummer 01142505
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Beschreibung:ii, 10 Seiten, 1 ungezähltes Blatt