Bestimmung von Akzeptorverteilungen in phosphorimplantiertem Silizium

Berlin, Humboldt-Univ., Math.-Naturwiss. Fak., Diss. A : 1975. (Nicht f.d. Austausch.)

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Burkhardt, Frank (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Veröffentlicht:	1975
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