Herstellung und Untersuchung von mit plasmaunterstützten CVD-Verfahren hergestellten Siliziumoxinitrid-Schichten auf ihre Eignung für die integrierte Optik

Hamburg, Univ., Diplom-arb., 1989

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Koch, Kai-Hoger (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1989
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