Fundamentals of microelectronics processing

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Lee, Hong H. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	New York, NY u.a. McGraw-Hill c1990
Schriftenreihe:	McGraw-Hill chemical engineering series
Schlagworte:	Electronic equipment. Integrated circuits. Manufacture > Integrated circuits++Design and construction > Halbleitertechnologie
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