Microelectronics processing chemical engineering aspects

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Hess, Dennis W. (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Washington, DC American Chemical Society 1989
Schriftenreihe:	Advances in chemistry series 221
Schlagworte:	Integrated circuits > Design and construction > Surface chemistry > Microelectronics > Materials > Aufsatzsammlung > Technische Chemie > Mikroelektronikindustrie
Online Zugang:	Publisher description Table of contents
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