Ionenstrahlgestützte Halbleitertechnologie

Literaturverz. S. 123 - 129

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Frey, Hartmut (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Düsseldorf VDI-Verl. 1992
Schlagworte:	Integrated circuits > Design and construction > Ion implantation > Ion bombardment > Ion beam lithography > Halbleitertechnologie > Ionenstrahlbearbeitung
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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