Die Anwendung der geometrischen Theorie der Beugung auf die Fotolithografiesimulation unebener Substratoberflächen

Ilmenau, Techn. Hochsch., Diss., 1992

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Bischoff, Jörg (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Ilmenau 1992
Schlagworte:	Hochschulschrift
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