Doping efficiencies of gas-phase and ion-implantation doped a-Si:H

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Müller, G. (VerfasserIn)
Körperschaft:	Unternehmensbereich Apparate, Messerschmitt-Bölkow-Blohm GmbH (MBB) (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Veröffentlicht:	München Zentrale Berichtsstelle, Technisch-wissenschaftliche Information, Messerschmitt-Bölkow-Blohm GmbH 1986
Schriftenreihe:	MBB Bericht UA 993-86 OTN 011030
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