The mechanism of anisotropic, electrochemical silicon etching in alkaline solutions Solid-State Sensor and Actuator Workshop, Hilton Head Island, South Carolina, June 4-7, 1990

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Seidel, Helmut (VerfasserIn)
Körperschaft:	Deutsche Aerospace, Messerschmitt-Bölkow-Blohm GmbH (MBB) (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	München 1990
Schriftenreihe:	MBB-Bericht. Z 315-90 PUB OTN 030814
Schlagworte:
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!