Silicides for VLSI applications

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Murarka, Shyam P. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Orlando u.a. Academic Press 1983
Schlagworte:	Silicides > Electronics > Materials > Integrated circuits > Very large scale integration
Online Zugang:	Publisher description Table of contents
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