Zur Abscheidung epitaktischer Siliziumschichten mit Hilfe der Ionenstrahlzerstäubung

Karl-Marx-Stadt, Techn. Hochsch., Fak. für Mathematik u. Naturwiss., Diss., 1982

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Kupfer, H. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1982
Schlagworte:	Hochschulschrift
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