Die Salicidtechnik in der mikroelektronischen Höchstintegration unter besonderer Berücksichtigung von Molybdänsilicid
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| Format: | UnknownFormat |
| Veröffentlicht: |
Karl-Marx-Stadt
1989
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Karl-Marx-Stadt, TU, Fak. für Elektroingenieurwesen, Diss. 1989 |
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| Beschreibung: | VII, 147 S., A 30, 8 S. Thesen |