Silizium-Epitaxieschichten mittels Lösungstransport durch Fliehkraft und deren strukturelle und elektrische Charakterisierung überwiegend mit elektronenmikroskopischen Methoden [Schlußbericht, Abschlußdatum: Dezember 1985]

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Bauser, Elisabeth (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Strunk, Horst (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Eggenstein-Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik Karlsruhe 1986
Schriftenreihe:	Forschungsbericht T, Technologische Forschung und Entwicklung / Bundesministerium für Forschung und Technologie Elektronik 86,142
Schlagworte:	Forschungsbericht > Silicium > Epitaxie > Zentrifugalkraft
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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