Dotierungsprofil-Messtechnik in der Halbleitertechnologie

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Goldbach, Günter (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Roesch, Ekkehard (VerfasserIn), Wallis, Detlev (VerfasserIn), Rösch, Ekkehard (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Eggenstein-Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik Karlsruhe 1983
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Forschungsbericht / Bundesministerium für Forschung und Technologie Technologische Forschung und Entwicklung Elektronik T 83-126
Schlagworte:	Forschungsbericht > Halbleitertechnologie > Dotierungsprofil
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:	Förderkennzeichen BMFT NT-0868 Mit engl. Zsfassung
Beschreibung:	108 S Ill., graph. Darst