Selbstisolierende Oxydation als Prozessvariante zur vereinfachten Herstellung von ladungsgekoppelten Bauelementen

Stuttgart, Univ., Diss., 1986

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Esslinger, Albrecht (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Stuttgart 1986
Schlagworte:	Hochschulschrift
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Stuttgart, Univ., Diss., 1986
Beschreibung:	137 S Ill., graph. Darst