Untersuchungen zur Schichtdickenabhängigkeit von Beweglichkeit und Dotierung in epitaxialen Siliziumschichten auf Spinell und Saphir
Zugl.: Zürich, Eidgenöss. Techn. Hochsch., Diss. : 1977
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Zürich
1977
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| Schriftenreihe: | Publikationen. Abteilung für Industrielle Forschung am Institut für Technische Physik der Eidgenössischen Technischen Hochschule Zürich
48 |
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