Untersuchungen zur Schichtdickenabhängigkeit von Beweglichkeit und Dotierung in epitaxialen Siliziumschichten auf Spinell und Saphir

Zugl.: Zürich, Eidgenöss. Techn. Hochsch., Diss. : 1977

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Bänziger, Urs-Peter (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Zürich 1977
Schriftenreihe:	Publikationen. Abteilung für Industrielle Forschung am Institut für Technische Physik der Eidgenössischen Technischen Hochschule Zürich 48
Schlagworte:	Hochschulschrift
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