Tunnel-MIS-Dioden mit neuartigen ultradünnen Dielektrika aus plasmanitrietem und thermisch nitriertem Silizium

Erlangen-Nürnberg, Univ., Techn. Fak., Diss., 1985

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Meisel, Thomas (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1985
Schlagworte:	Hochschulschrift
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Erlangen-Nürnberg, Univ., Techn. Fak., Diss., 1985
Beschreibung:	IV, 143 S graph. Darst