Active probe atomic force microscopy a practical guide on precision instrumentation

From a perspective of precision instrumentation, this book provides a guided tour to readers on exploring the inner workings of atomic force microscopy (AFM). Centered around AFM, a broad range of mechatronic system topics are covered including mechanics, sensors, actuators, transmission design, sys...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Xia, Fangzhou (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Rangelow, Ivo W. (VerfasserIn), Youcef-Toumi, Kamal (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Cham Springer 2024
Schlagworte:	Measuring instruments > Electronics > Mechatronics > Spectrum analysis > Microtechnology > Microelectromechanical systems > Measurement
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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