Grundlagen zur lateralen Nanostrukturierung mittels Titan basierender rastersondentechnischer Oxidation für die Herstellung von Hochtemperatur-Einzel-Elektronen-Transistoren

Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2000

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Hamidi, Amir Hossain (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Aachen 2000
Schlagworte:	Transistor > Einelektronen-Tunneleffekt > Titan > Oxidation > Nanostruktur > Rastersondenmikroskop
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