Ion solid interactions fundamentals and applications

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Nastasi, Michael (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Mayer, James W. (VerfasserIn), Hirvonen, James K. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Cambridge Cambridge University Press 1996
Schriftenreihe:	Cambridge solid state science series
Schlagworte:	Ionenimplantation > Ionenstrahlbearbeitung
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!