Untersuchung mechanischer Eigenschaften von a-C:H- und a-Si:H-Schichten mittels Brillouin-Streuung und Nanoindenter

Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1990

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Jiang, Xin (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Jülich Zentralbibliothek, Forschungszentrum Jülich 1990
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Berichte / Forschungszentrum Jülich 2397
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