SEM microcharacterization of semiconductors

SEM microcharacterization of semiconductors

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Holt, David B. (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Veröffentlicht: London u.a. Academic Pr. 1989
Schriftenreihe:Techniques of physics 12
Schlagworte:
Halbleiteroberfläche > Rasterelektronenmikroskopie
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Beschreibung
Beschreibung:XIII, 452 S. : Ill., graph. Darst.
ISBN:0123538556