Thin films interdiffusion and reactions

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Poate, John M. (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Veröffentlicht:	New York u.a. Wiley 1978
Schriftenreihe:	Electrochemical Society Series A Wiley-Interscience publication
Schlagworte:	Halbleiter > Dünne Schicht > Dünnschichttechnik > Halbleitertechnologie
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