MEMS piezoresistive force sensors based on micro-/ nanostructured silicon components

Dissertation, Technische Universität Carolo-Wilhelmina zu Braunschweig, 2018

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Hamdana, Gerry (VerfasserIn)
Körperschaft:	Verlag Dr. Hut <München> (Verlag)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	München Verlag Dr. Hut 2019
Ausgabe:	1. Auflage
Schlagworte:	Hochschulschrift
Online Zugang:	Inhaltstext http://www.dr.hut-verlag.de/978-3-8439-3885-3.html
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