MEMS piezoresistive force sensors based on micro-/ nanostructured silicon components

Dissertation, Technische Universität Carolo-Wilhelmina zu Braunschweig, 2018

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Hamdana, Gerry (VerfasserIn)
Körperschaft: Verlag Dr. Hut <München> (Verlag)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: München Verlag Dr. Hut 2019
Ausgabe:1. Auflage
Schlagworte:
Online Zugang:Inhaltstext
http://www.dr.hut-verlag.de/978-3-8439-3885-3.html
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Beschreibung
Zusammenfassung:Dissertation, Technische Universität Carolo-Wilhelmina zu Braunschweig, 2018
Beschreibung:xxi, 199 Seiten
Illustrationen, Diagramme
21 cm x 14.8 cm
ISBN:3843938857
3-8439-3885-7
9783843938853
978-3-8439-3885-3