Pulsformung zur schädigungsarmen Laserbearbeitung von Silizium

Dissertation, Universität Stuttgart, 2018

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Diez, Michael (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	München Herbert Utz Verlag 2018
Schriftenreihe:	Laser in der Materialbearbeitung
Schlagworte:	Erstarrung > Silicium > Nanosekundenbereich > Gitterbaufehler > Impulsformung > Schmelzen > Diffusion > Laserbearbeitung > Einkristall > Prozessführung > Hochschulschrift
Online Zugang:	Inhaltstext Inhaltsverzeichnis
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