Online simulation in semiconductor manufacturing
Neubiberg, Univ. der Bundeswehr München, Diss., 2012
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
2012
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Schlagworte: | |
Online Zugang: | http://d-nb.info/1027270476/34 https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:706-2918 Volltext |
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Zusammenfassung: | Neubiberg, Univ. der Bundeswehr München, Diss., 2012 |
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Beschreibung: | 181 S. Ill., graph. Darst. |