Advanced metallization for ULSI applications [the Advanced Metallization Conference 2010, 20th Asian Session (ADMETA 2010) was held in Takeda Hall, The University of Tokyo, Tokyo, Japan, from October 19 to 22, 2010]
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| Weitere Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | eng |
| Veröffentlicht: |
Tokyo
Japan Soc. of Applied Physics
2011
|
| Schriftenreihe: | Japanese journal of applied physics
50,5,2 : Special issue |
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