Makro- und mikromechanische Untersuchungen zum Drahtsägen von Siliziumwafern

Zugl.: Freiberg (Sachsen), Techn. Univ., Diss., 2010

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Liedke, Thomas (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Freiberg Inst. für Mechanik und Fluiddynamik 2011
Ausgabe:	1. Aufl.
Schriftenreihe:	Berichte des Instituts für Mechanik und Fluiddynamik H. 7
Schlagworte:	Hochschulschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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