Makro- und mikromechanische Untersuchungen zum Drahtsägen von Siliziumwafern

Zugl.: Freiberg (Sachsen), Techn. Univ., Diss., 2010

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Liedke, Thomas (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Freiberg Inst. für Mechanik und Fluiddynamik 2011
Ausgabe:1. Aufl.
Schriftenreihe:Berichte des Instituts für Mechanik und Fluiddynamik H. 7
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