Ionenstrahl-Ätzung eine Methode zur Präparation von dünnen Folien

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Springer, Christa (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Milsch, Beate (VerfasserIn), Gysler, Albrecht (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	und
Veröffentlicht:	Köln DFVLR 1974
Schriftenreihe:	DFVLR-Sonderdruck 386
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